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特点
■大气压附近的排气速度高，可以缩短排气时间。
■ECO-SHOCK技术实现低功耗（C型号）
极限压力下的功耗为0.6 kW或更低（LS120A-C）
■配有专用的消音器。极限压力下的噪音水平为61 dB（A）或更低
■无需先前所需要的轴封气体。※L型可以使用稀释气体。
■排气速度120-1200 m3 / h级 ※可与机械增压泵结合使用可以根据应用选择排气能力的型号
用途
C 规格：清洁工艺 （LS A-C）
特征：低功耗型，内置ECO-SHOCK
用途：用于清洁气体排气，如空气排气和N2排气
溅射/蒸发/贴合/load lock室/TMP辅助等等
L 规格：轻工艺（LS A-L）
特征：具有表面处理和清洗功能的轻工艺类型
用途：用于轻工艺，如水蒸气和挥发性化学液体排气
真空干燥/冷冻干燥/尘化/一般产业用途 等等
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