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特点
- 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
- 采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
- 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
用途
- 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
- 真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
- 锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
- 医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
规格
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 排气速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源电压 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消费电力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 水蒸气处理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸气口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 适用规格 | CE、cTUVus | |||
| 标准附属品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer | |||
| 本体选配件 | Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM | |||
| 外部选配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve | |||
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