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日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵

型    号:DVS-321/631/DVT-300
所属分类:
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◇洁净真空
由于无油、不会返流至泵内,因此可以得到洁净的真空。
◇低噪音、低振动
涡线管优良的平衡性,降低了噪音和振动。

日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵产品概述:

日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵特性
◇洁净真空
由于无油、不会返流至泵内,因此可以得到洁净的真空。
◇低噪音、低振动
  涡线管优良的平衡性,降低了噪音和振动。
◇无需日常换油
  由于不使用泵油,大幅减少了日常保养。
◇无需冷却水
  由于是空冷构造,安装时真空泵只需接通电源就能工作,无需水冷管。
◇高效压缩的涡线管节省了能源和运转成本。
◇保养周期长
  为避免机械损耗,选用耐用材料,密封件确保能够连续运转。
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵应用
◇可用于半导体制造的负载锁定室
◇电子显微镜的前级泵
◇干式真空的前级泵
◇真空干燥、冷冻干燥系统
◇排气、真空注入系统
◇真空蒸溜、真空凝缩
◇测量器械
◇真空加固
◇真空涂层系统
◇电子杠杆工程、激光杠杆机


型 号

实际排气速度(L/min.)

极限压力

(Pa)

吸/排气管径

(mm)

重量

(kg)

外形尺寸

W×L×H(mm)

电机

极限蒸气压

(g/hr)

功率(W)

可选电压(V)

※  DVS-321

265/320

(50/60Hz)

≤1.5(当选购件孔径D1.0≤3.0)

KF-25/KF-16

35

300×398×354

400

单相

100~115.200~230

≤2.0(当选购件孔径D1.0≤2.3)

DVS-631

525/630

(50/60Hz)

≤1.0(当选购件孔径D1.5≤2.5)

KF-40/KF-25

41

326×535×367

600

单相100/200.220

≤2.0(当选购件孔径D1.0≤2.3)

44

326×586×367

三相200

DVT-300

300

≤6.7

KF-25/KF-16

26

257×273×509

400

单相100.200

三相200

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