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日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵特性
◇洁净真空
由于无油、不会返流至泵内，因此可以得到洁净的真空。
◇低噪音、低振动
涡线管优良的平衡性，降低了噪音和振动。
◇无需日常换油
由于不使用泵油，大幅减少了日常保养。
◇无需冷却水
由于是空冷构造，安装时真空泵只需接通电源就能工作，无需水冷管。
◇高效压缩的涡线管节省了能源和运转成本。
◇保养周期长
为避免机械损耗，选用耐用材料，密封件确保能够连续运转。
日本ULVAC DVS-321/631/DVT-300涡旋型干式真空泵应用
◇可用于半导体制造的负载锁定室
◇电子显微镜的前级泵
◇干式真空的前级泵
◇真空干燥、冷冻干燥系统
◇排气、真空注入系统
◇真空蒸溜、真空凝缩
◇测量器械
◇真空加固
◇真空涂层系统
◇电子杠杆工程、激光杠杆机
型 号 | 实际排气速度（L/min.） | 极限压力 （Pa） | 吸/排气管径 （mm） | 重量 （kg） | 外形尺寸 W×L×H（mm） | 电机 | 极限蒸气压 （g/hr） | |
功率（W） | 可选电压（V） | |||||||
※ DVS-321 | 265/320 （50/60Hz） | ≤1.5（当选购件孔径D1.0≤3.0） | KF-25/KF-16 | 35 | 300×398×354 | 400 | 单相 100～115.200～230 | ≤2.0（当选购件孔径D1.0≤2.3） |
DVS-631 | 525/630 （50/60Hz） | ≤1.0（当选购件孔径D1.5≤2.5） | KF-40/KF-25 | 41 | 326×535×367 | 600 | 单相100/200.220 | ≤2.0（当选购件孔径D1.0≤2.3） |
44 | 326×586×367 | 三相200 | ||||||
DVT-300 | 300 | ≤6.7 | KF-25/KF-16 | 26 | 257×273×509 | 400 | 单相100.200 三相200 | ------- |
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