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日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A罗茨泵

型    号:NB100A/300A/600A/1200A
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罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用,可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。

日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A罗茨泵产品概述:


罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用,可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。

日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A罗茨泵特长
结净的真空
腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运转。

日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A罗茨泵用途
照明、电子、光学、半导体镀膜、溅射、离子镀、液晶注入真空干燥、冷冻干燥、真空脱气真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉分析仪器、检漏设备,CO2激光设备


        机 型

NB100A

NB300A

NB600A

NB1200A

项 目

抽气速率*3

   m3/h(L/min)

50Hz

95(1580)

280(4670)

500(8330)

1000(16667)

60Hz

115(1920)

330(5500)

600(10000)

1200(20000)

zui大吸入压力      Pa

(连续运转时)      

50Hz

1.3×103

1.2×103

1.3×103

60Hz

1.3×103

9.3×102

1.1×103

zui大允许压力差    Pa

(排出压力-吸入压力)   

50Hz

8.0×103

4.0×103

7.3×103

60Hz

6.7×103

3.3×103

6.0×103

极限压力          Pa*1

4.0×101

6.7×101

标准粗抽泵

GLD-N280

VDN301

VDN401

VSN1501

VSN2401

VSN1501

VSN2401

电    机          

kW (极) *2 *4

0.4(2)

0.75(2)

2.2(2)

3.7(2)

V-Hz

380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz

使 用 油

ULVOIL® R-4

所需油量          L

0.35

0.70

1.50

1.90

冷却水量          L/min*6

空 冷

2 *5

2

3

进水压力          MPa


0.3


进出水压差        MPa

0.05

0.1

重    量          kg

24

49

77.5

110

吸气口径 (JIS B 2290)

相当 VG50

相当 VG80

相当VG80

相当VG100

排气口径 (JIS B 2290)

相当VF50

相当VF80

相当VF80

相当VF80








*1  用皮拉尼真空计测量的值,如用麦氏真空计测量,则为4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A则为6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。

*2  电源为AC380V、50Hz、三相。

*3  随粗抽泵的性能而变化,表中为标准泵的组合的数据。

*4  NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。

*5  对于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。

*6  冷却水温为5~30℃。

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