欢迎光临上海民仪电子有限公司网站!
诚信促进发展,实力铸就品牌
服务热线:

13917179551

产品展示 / products 您的位置:网站首页 > 产品展示 > 生物仪器 > 真空泵 > NRL60A/90A/180ANRL60A/90A/180A干式真空泵
NRL60A/90A/180A干式真空泵

NRL60A/90A/180A干式真空泵

简要描述:● NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性

产品型号: NRL60A/90A/180A

所属分类:真空泵

更新时间:2023-12-08

厂商性质:生产厂家

详情介绍

 

特长
● NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
● 选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
 
用途
◆ 活性气体(CVD、刻蚀等)
◆ 排出非活性气体(溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)
◆ 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
◆ 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)
◆ 冷冻干燥等水蒸气排气


留言询价

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7